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扫描探针显微镜OLS4500

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    OLS4500为您带来*新的解决方案

实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。

电动物镜转换器切换倍率和观察方法

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。





主机 规格

LSM部分 光源、检出系统 光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管

总倍率 108~17,280X

变焦 光学变焦:1~8X

测量 平面测量 重复性 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm

正确性 测量值的±2%以内

高度测量 方式 物镜转换器上下驱动方式

行程 10mm

内置比例尺 0.8nm

移动分辨率 10nm

显示分辨率 1nm

重复性 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm

正确性 0.2+L/100 μm以下(L=测量长度)

彩色观察部分 光源、检出系统 光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD

变焦 码变焦:1~8X

物镜转换器 6孔电动物镜转换器

微分干涉单元 微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元

物镜 明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X

Z对焦部分行程 76 mm

XY载物台 100 x 100 mm(电动载物台)

SPM部分 运行模式 接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*

位移检出系统 光杠杆法

光源 659 nm半导体激光

检出设备 光电检测器

*大扫描范围 X-Y:*大 30 μm x 30 μm、Z:*大 4.6 μm

安装微悬臂 在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。

系统 总重量 约440 kg(不包含电脑桌)

I额定输入 100-120 V/220-240 V、600 V

 
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